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1. 半导体设备的密封垫圈
在半导体制造过程中,各种设备和腔室需要保持高度的密封性,以防止外界污染物进入。这种环形部件作为密封垫圈使用,安装在设备的接口处,确保密封效果。
2. 晶圆传输系统中的定位环
在晶圆传输系统中,需要精确地定位和传输晶圆。这种环形部件可能作为定位环使用,帮助晶圆在传输过程中保持稳定和准确的位置。
均匀分布的小孔用于固定或调整定位环的位置,确保晶圆传输的精度。
3. 半导体封装设备中的支撑环
在半导体封装过程中,需要对芯片进行精确的封装和固定。这种环形部件作为支撑环使用,帮助芯片在封装过程中保持稳定。
4. 半导体测试设备中的接触环
在半导体测试过程中,需要对芯片进行电气测试。这种环形部件作为接触环使用,帮助测试探针与芯片的电气接触。
均匀分布的小孔用于固定测试探针,确保电气接触的稳定性和可靠性。
5. 半导体反应腔室中的隔热环
在半导体反应腔室中,需要对芯片进行高温处理。这种环形部件作为隔热环使用,帮助减少热量的传导,保护芯片不受过热影响。