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从O型圈到芯片吸盘:尼可(青岛)高分子以Class 1级洁净度橡胶制品切入半导体供应链

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半导体制造工艺对密封件的洁净度、耐腐蚀性和离子析出率要求极为苛刻。在刻蚀、沉积、湿法清洗等环节,密封件直接接触腐蚀性气体或化学液体,任何微量析出都可能导致晶圆污染,造成数十万美元的损失。根据行业标准,用于核心腔室的密封件需满足Class 1级洁净度,离子析出率通常要求低于0.01ppb,部分高端制程甚至要求低于0.001ppb。

 

目前,全球半导体级全氟醚橡胶(FFKM)密封件市场主要由美国、日本少数企业垄断,国产替代空间巨大。同时,随着第三代半导体、先进封装等技术的普及,对耐高温、耐等离子刻蚀、低颗粒产生的橡胶制品需求持续上升。

 

【尼可的半导体专用产品矩阵】

尼可(青岛)高分子科技有限公司针对半导体行业需求,开发了多款专用产品:

阀片:专为半导体设备门设计,采用全氟醚橡胶(FFKM)与金属材质复合结构,满足Class 1级洁净度要求,离子析出率<0.001ppb,达到国际先进水平。

芯片切割吸盘:确保晶圆加工的高精度和稳定性,具备耐高温、化学稳定性和超长使用寿命。

橡胶包覆制品:采用高性能塑料(FEP/PFA)+特种橡胶(氟橡胶/硅胶)双层包覆结构,专为强腐蚀、超高温、高洁净度场景开发。

薄膜垫片、挡圈及垫圈:安装在半导体设备的接口处,防止外界污染物进入,确保腔室密封性。

此外,尼可还提供大口径O型圈、X型圈(摩擦力低,抗扭转)、硼硅橡胶制品等,覆盖从静密封到低速运动密封的多种工况。

 

【行业前景与尼可的未来愿景】

尼可凭借全氟醚橡胶、耐高温橡胶等材料突破,以及精密制造与全程追溯能力,已具备向半导体、航空航天、绿色能源等新兴领域规模化供货的基础。公司未来将持续以技术创新为驱动,深化全球市场布局,重点拓展上述高附加值行业。

 

“半导体级密封件的国产化不仅是商业机会,更是产业链安全的需要。”尼可市场负责人表示。通过提供快速响应(72小时内完成方案与样品)、成本优化(降低15%-20%)与风险管控(FMEA/PPAP)三大客户价值,尼可正逐步从通用橡胶制品供应商,转型为高端制造领域值得信赖的密封解决方案合作伙伴。